Concept information
Terme préférentiel
lithographie par projection d'ions
Définition
- Technique de lithographie dans laquelle un faisceau d'ions, généralement dirigé par un système de lentilles électrostatiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible dans laquelle le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique doit être reproduit.
Variante
- lithographie ionique de projection
- lithographie ionique par projection
- lithographie par projection ionique
Note
- lithographie par projection d'ions (n. f.)
Traductions
-
anglais
-
ion projection lithography
-
IPL
-
projection ion lithography
-
catalan
-
litografia iònica per projecció
-
litografia per projecció iònica
-
espagnol
-
litografía de iones
-
espagnol (Argentine)
-
italien
-
litografia a fasci di ioni
-
litografia da fascio ionico
-
portugais
-
litografia por projecção de feixe de iões
-
litografia por projecção de iões
-
litografia por projecção iónica
-
portugais (Brésil)
-
litografia por feixe iônico
-
roumain
URI
https://vocabs.ilc4clarin.ilc.cnr.it/vocabularies/realiter/pl_20_500_11752_OPEN_1022/lithographie_par_projection_d_ions
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