Skip to main

Choisissez le vocabulaire dans lequel chercher

Langue des données

Concept information

Terme préférentiel

lithographie par projection d'ions  

Définition

  • Technique de lithographie dans laquelle un faisceau d'ions, généralement dirigé par un système de lentilles électrostatiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible dans laquelle le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique doit être reproduit.

Variante

  • lithographie ionique de projection
  • lithographie ionique par projection
  • lithographie par projection ionique

Note

  • lithographie par projection d'ions (n. f.)

Traductions

URI

https://vocabs.ilc4clarin.ilc.cnr.it/vocabularies/realiter/pl_20_500_11752_OPEN_1022/lithographie_par_projection_d_ions

Télécharger ce concept :