Concept information
Terme préférentiel
lithographie par rayons X
Définition
- Technique de lithographie dans laquelle on utilise des rayons X, d'une longueur d'onde pouvant varier entre 0,5 et 5 nanomètres, pour reproduire le motif d'une structure nanométrique dans une résine sensible, vers laquelle ils sont dirigés à travers un masque.
Variante
- lithographie à rayons X
- lithographie aux rayons X
- lithographie X
Note
- lithographie par rayons X (n. f.)
Traductions
-
anglais
-
X-lithography
-
XRL
-
catalan
-
espagnol
-
litografía de rayos X
-
litografía por rayos X
-
espagnol (Argentine)
-
litografía de rayos X
-
litografía por rayos X
-
italien
-
litografia X
-
portugais
-
litografia de raios X
-
XRL
- [show all 19 values]
URI
https://vocabs.ilc4clarin.ilc.cnr.it/vocabularies/realiter/pl_20_500_11752_OPEN_1022/lithographie_par_rayons_X
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}