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Concept information

Terme préférentiel

photolithographie  

Définition

  • Technique qui permet de reproduire le motif d'une structure micrométrique dans une résine déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau lumineux comme outil d'impression.

Variante

  • lithographie optique

Note

  • photolithographie (n. f.)

Traductions

URI

https://vocabs.ilc4clarin.ilc.cnr.it/vocabularies/realiter/pl_20_500_11752_OPEN_1022/photolithographie

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